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台新技术打破PSS瓶颈 良率挨近100%环亚国际app

2018-09-20 10:31      点击:

  台新技术打破PSS瓶颈 良率挨近100%

  LED有许多制程,图画化蓝宝石基板(PSS)是其中之一,业界现以黄光微影技能处理PSS,产能有限,良率亦不抱负。

  台湾成功大学机械工程学系教授李永春带领团队开宣布全新的软性光罩微影技能,良率简直百分之百,战胜业界头疼的量产、良率等问题。业界看好此技能远景,ag88环亚娱乐与该团队协作,期望以软性光罩微影关键技能与元件,援助下一代代LED工业的开展,并进军韩国、大陆、日本的PSS商场。

  李永春教授表明,LED选用的蓝宝石基板硬度极高,在考究LED高发光功率的要求下,必需在基板上做出极微小、细密的图画结构,才干有高的发光功率。5年前业界选用玻璃光罩技能,但硬式玻璃光罩与基板的贴合度欠安,很难在基板上做出细腻的图画与结构。后来改用投射式黄光微影技能与步进式曝光机台,但此技能合适处理半导体工业中小面积与单个图形的曝光,用于LED-PSS大面积为结构的曝光时,会有费时、费工、图形接缝、光学失焦…等问题,且量产功率低,良率亦不甚抱负。

  李永春教授指出,软性光罩微影技能,以软性原料覆于蓝宝石基板上,没有旧日玻璃光罩技能的硬碰硬、做不出细腻结构的问题,也没有黄光微影只合适小面积曝光的困扰。以软性光罩微影技能做出的PSS,有用的战胜上述两个问题,并且进程极为安稳。李永春教授说,现行的黄光微影技能,要在PSS上做出高解析度的小型图画,以6寸巨细的产品为例,1小时只能做4、5片,并且还有良率不抱负的问题,估量1小时出产的可用品约2片,若改选用软性光罩处理技能1小时可做4、50片,也没有良率的问题,至于代工费用,ag环亚娱乐平台软文营销案例分享,选用黄光微影制程1片约80至100美元,改用软性光罩处理技能能够下降约一半的制程本钱。

  李永春教授着重,成大开发的软性光罩微影技能,不只革命性的战胜了业界长期以来出产PSS的大瓶颈,还有一层极严重的义意——技能自主。李永春教授表明,环亚国际app现在业界已纷繁刺探软性光罩微影技能,预订明年初的第一季即可问市,估量一到两年后业界就会大举跟进。

  

   蓝宝石基板良品率LED资料